閉環(huán)壓力是指使用基于壓力而不是質(zhì)量流量的反饋回路。質(zhì)量流量控制器( MFC) 通常會(huì)測量質(zhì)量流量并調(diào)節(jié)閥門以將質(zhì)量流量增加或減少至設(shè)定值。

當(dāng)控制壓力時(shí)，閥門將根據(jù)壓力測量進(jìn)行調(diào)整。例如，想象一下，您正在控制 Alicat 下游的壓力并希望達(dá)到 100 PSIA。如果壓力為 80 PSIA，MFC 將進(jìn)一步打開閥門，直到壓力達(dá)到設(shè)定值。

這對(duì)于您想要同時(shí)控制壓力和測量流量的應(yīng)用非常有用。一些示例包括泄漏測試和流量/質(zhì)量檢查，您必須保持特定的流量與壓力曲線。

觀看下面的視頻，聆聽?wèi)?yīng)用工程師 Alyssa Jenkins 詳細(xì)介紹壓力控制回路功能。

應(yīng)用：使用 Alicat MFC 校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)

轉(zhuǎn)子流量計(jì)測量體積流量，通常以標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘 (SLPM) 或標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 (SCCM) 為單位。雖然這些單位表明輸出是質(zhì)量流量，但這實(shí)際上僅在轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)整的壓力下才是正確的。

相比之下，艾里卡特 MFC 具有壓力傳感器，可在壓力變化時(shí)調(diào)整讀數(shù)，并在任何溫度或壓力下提供準(zhǔn)確的質(zhì)量流量。與壓力控制回路相結(jié)合，Alicat MFC 可用于轉(zhuǎn)子流量計(jì)校準(zhǔn)。

基本步驟如下：

1.連接轉(zhuǎn)子流量計(jì)下游的 Alicat 設(shè)備。

2.設(shè)置壓力設(shè)定點(diǎn)以匹配轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)諧時(shí)的壓力。

3.將 Alicat 設(shè)備上的流量讀數(shù)與轉(zhuǎn)子流量計(jì)上的讀數(shù)進(jìn)行比較。

4.調(diào)整轉(zhuǎn)子流量計(jì)以匹配 Alicat 上的質(zhì)量流量讀數(shù)。