有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 產(chǎn)品擁有多種增強(qiáng)功能，可在嚴(yán)苛的應(yīng)用中延長真空計(jì)的保養(yǎng)間隔。與組合式傳感器所支持的低開啟壓力相結(jié)合，非常適合從粗真空到高真空測量的多種應(yīng)用。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(jì)（PTR90）是一款用于精確壓力測量的多功能有源傳感器，具有以下特點(diǎn)：

l測量范圍廣：壓力范圍從 1×10?? mbar 到 1000 mbar，部分型號如 PTR 90 N 的測量范圍為 5×10?? mbar到1000 mbar

l精度較高：在 1×10??至 1×10?2 mbar 范圍內(nèi)，精度小于測量值的 30%；在 1×10?2 至 10 mbar 范圍內(nèi)，精度小于測量值的 15%

l穩(wěn)定性強(qiáng)：采用冷陰極和燈絲皮拉尼等技術(shù)，可在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作，減少灰塵和顆粒污染的影響

l接口豐富：有數(shù)字或模擬（RS232 或 485）接口可供選擇，部分型號配備 RJ45/FCC68 連接器

l顯示直觀：配備自適應(yīng) LED 壓力指示，通過脈沖模式顯示壓力信息

l緊湊尺寸，易于集成

l冷陰極堅(jiān)固耐用 - 即裝即用

PENNINGVAC PTR 90 RN：組合式冷陰極真空計(jì)

我們的組合式冷陰極真空計(jì)采用冷陰極電離的反磁控管原理，并與皮拉尼真空計(jì)相結(jié)合。

通過將這些技術(shù)組合到一個更緊湊的傳感器中，擴(kuò)大了真空計(jì)量程，能夠可靠測量大氣壓到 1 x 10^-9的壓力。

冷陰極的開/關(guān)功能由集成式皮拉尼真空計(jì)自動控制，無縫消除了在壓力過高情況下運(yùn)行冷陰極的任何風(fēng)險(xiǎn)，該風(fēng)險(xiǎn)可能會導(dǎo)致真空計(jì)使用壽命縮短。

提供模擬 0-10V 線性輸出和數(shù)字通信。

行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體行業(yè)

薄膜沉積：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，如化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等薄膜沉積工藝，需要精確控制反應(yīng)腔室中的真空度。PTR90 可實(shí)時準(zhǔn)確測量腔室內(nèi)的壓強(qiáng)，確保沉積過程在合適的真空環(huán)境下進(jìn)行，從而保證薄膜的質(zhì)量和性能，如薄膜的厚度均勻性、附著力等。

離子注入：離子注入是半導(dǎo)體制造中的重要摻雜工藝，需要高真空環(huán)境以避免雜質(zhì)干擾。PTR90 能精確監(jiān)測真空度，為離子注入設(shè)備提供準(zhǔn)確的壓強(qiáng)數(shù)據(jù)，確保離子束能夠準(zhǔn)確地注入到半導(dǎo)體材料中，實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體材料電學(xué)性能的精確控制。

真空鍍膜行業(yè)

光學(xué)鍍膜：在光學(xué)鏡片、濾光片等光學(xué)元件的鍍膜過程中，需要嚴(yán)格控制鍍膜腔室的真空度。PTR90 可幫助維持穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保鍍膜材料能夠均勻地沉積在光學(xué)元件表面，提高鍍膜的質(zhì)量和光學(xué)性能，如反射率、透過率等。

裝飾鍍膜：在手表帶、手機(jī)外殼等產(chǎn)品的裝飾性鍍膜中，PTR90 可確保鍍膜過程在合適的真空度下進(jìn)行，使鍍膜層具有良好的附著力、色澤和耐腐蝕性，提高產(chǎn)品的外觀質(zhì)量和使用壽命。

真空爐領(lǐng)域

金屬材料熱處理：在金屬材料的真空熱處理過程中，如真空淬火、真空回火等，PTR90 可實(shí)時監(jiān)測真空爐內(nèi)的壓強(qiáng)變化，確保爐內(nèi)處于高真空或特定的真空環(huán)境，防止金屬材料在熱處理過程中氧化、脫碳等，提高金屬材料的性能和質(zhì)量。

陶瓷材料燒結(jié)：對于陶瓷材料的真空燒結(jié)，PTR90 能夠精確測量和控制燒結(jié)爐內(nèi)的真空度，有助于排除爐內(nèi)的氣體雜質(zhì)，促進(jìn)陶瓷材料的致密化燒結(jié)，提高陶瓷材料的致密度、硬度和強(qiáng)度等性能。

分析儀器行業(yè)

質(zhì)譜儀：在質(zhì)譜分析中，需要高真空環(huán)境來保證離子的傳輸和檢測效率。PTR90 可作為質(zhì)譜儀的真空監(jiān)測部件，實(shí)時測量離子源、質(zhì)量分析器等部位的真空度，確保儀器正常運(yùn)行，提高質(zhì)譜分析的靈敏度和準(zhǔn)確性。

電子顯微鏡：電子顯微鏡需要在高真空環(huán)境下工作，以避免電子束與氣體分子的相互作用。PTR90 可為電子顯微鏡提供精確的真空度測量，確保電子槍、樣品室等部位處于良好的真空狀態(tài)，從而獲得高分辨率、高質(zhì)量的圖像。

其他領(lǐng)域

航空航天：在航空航天零部件的制造和測試過程中，如真空釬焊、真空檢漏等工藝，PTR90 可用于測量和控制真空度，保證零部件的質(zhì)量和可靠性，滿足航空航天領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⒏呖煽啃圆牧虾筒考囊蟆?/span>

科研實(shí)驗(yàn)：在各類物理、化學(xué)、材料等科研實(shí)驗(yàn)中，如表面科學(xué)研究、納米材料制備、等離子體物理實(shí)驗(yàn)等，PTR90 可作為重要的真空測量工具，幫助研究人員精確控制實(shí)驗(yàn)環(huán)境的真空度，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計(jì)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品選型