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MKS金屬密封式質(zhì)量流量計(jì)（GM50A）是通用型金屬密封式質(zhì)量流量計(jì)（MFM），適用于需要從5標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘（sccm）到50標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（slm）全量程的廣泛應(yīng)用場(chǎng)合，等效于氮?dú)猓∟2）。
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | MKS/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-3萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,汽車(chē)及零部件 |
MKS金屬密封式質(zhì)量流量計(jì)（GM50A）
GM50A和GM51A是通用型金屬密封式質(zhì)量流量計(jì)（MFM），適用于需要從5標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘（sccm）到50標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（slm）全量程的廣泛應(yīng)用場(chǎng)合，等效于氮?dú)猓?/span>N2）。這些儀表采用了數(shù)字流量計(jì)電子技術(shù)和經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的、熱傳感器及機(jī)械設(shè)計(jì)。
GM50A 寬 1.45 英寸。
GM51A 寬 1.25 英寸。
l嵌入式用戶界面可輕松更改范圍和氣體，減少所需庫(kù)存
l就地監(jiān)控和收集設(shè)備數(shù)據(jù)
l16微英寸316L表面處理，適用于高純度應(yīng)用
l廣泛的數(shù)字或模擬I/O選擇
多氣體/多量程能力
多氣體/多量程功能，以及對(duì)準(zhǔn)確度的嚴(yán)格性能規(guī)范，使用戶能夠最小化高流量MFM部件編號(hào)的庫(kù)存。多氣體/多量程功能（以及其他自定義控制）是通過(guò)MFM嵌入式診斷接口訪問(wèn)的，該接口不需要特殊的軟件或硬件即可操作。標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)電纜和廣泛可用的JAVA啟用HTML瀏覽器就是所需的所有工具。典型高流量氣體的氣體關(guān)鍵參數(shù)已經(jīng)存儲(chǔ)在設(shè)備上。配置設(shè)備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備健康檢查，繪制流量圖，并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。
MKS金屬密封式質(zhì)量流量計(jì)（GM50A）
技術(shù)參數(shù)
類(lèi)型 | 質(zhì)量流量計(jì) (MFM) | 零溫度系數(shù) | <0.05% 全量程/°C |
流量量程范圍 | 5-50000 sccm (等效N2) | 張力溫度系數(shù) | <0.08% 每度攝氏度讀數(shù) |
測(cè)量范圍 | 0.1%到100%的滿量程（機(jī)構(gòu)上的范圍） | 入口壓力系數(shù) | <0.02% 的閱讀/psi |
配合類(lèi)型 | Swagelok® 4 VCR® 陽(yáng)螺紋, 0.25 英寸 | 熱身時(shí)間 | 30分鐘（達(dá)到穩(wěn)態(tài)性能的0.2%范圍內(nèi)） |
工作溫度 | 10-50°C | ||
儲(chǔ)存濕度 | 0到95%相對(duì)濕度，不冷凝 | ||
外部泄露密封性 | <1 x 10-10 (標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒 氦氣) | ||
潮濕材料 | 316L不銹鋼 VAR（等同于半導(dǎo)體質(zhì)量的316不銹鋼SCQ） | ||
表面粗糙度 | 16微英寸平均粗糙度 | ||
流量輸入輸出信號(hào) | 電壓 (0到5 VDC) | 電源要求 | +15至+24VDC（<2W） |
模擬連接器 | 15針D型公頭 | 重量 | <2.5 磅（1.1 公斤） |
合規(guī) | CE | ||
zui大入口壓力 | 500 psi | 證明壓力 | 1000 psig |
爆破壓力 | 1500 psig | 典型精度 | 讀數(shù)的±1% |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.3% | 分辨率 | 滿量程的0.1% |
杭州域勢(shì)科技有限公司專(zhuān)注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷(xiāo)美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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