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產品簡介
MKS質量流量計（P9B）帶集成壓力傳感器采用新的電子技術，能夠滿足zui苛刻的工藝氣體流量測量要求。
| 品牌 | MKS/美國 | 價格區間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 能源,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS質量流量計（P9B）帶集成壓力傳感器
P9B 多氣體/多量程，金屬密封，質量流量計（MFM）采用新的電子技術，能夠滿足zui苛刻的工藝氣體流量測量要求。P9B 質量流量計集成了一個 Baratron® 電容式壓力計，0-100 psia 全量程壓力傳感器，允許用戶測量和監控管道壓力。壓力可以通過安裝在 MFM 頂部的多方向 LED 顯示進行觀察。
l嵌入式100 psia壓力傳感器允許用戶監測MFM線路壓力
l在寬動態范圍內進行準確的流量測量，即使在近距離范圍內，也能減少對額外低范圍MFM的需求。
l嵌入式配置和診斷軟件，允許用戶檢查MFM功能
MKS質量流量計（P9B）帶集成壓力傳感器
技術參數
類型 | 質量流量計 | 全量程流量范圍 | 5-50000 sccm |
測量范圍 | 0.1-100% 的滿量程（機構上的范圍） | zui大入口壓力 | 500 psig |
證明壓力 | 1000psig | 爆破壓力 | 1500psig |
典型精度 | 設定點的±1% 適用于 20-100% 滿量程 | 重復性 | ±0.3% 的讀數 |
分辨率 | 滿量程的0.1% | 零溫度系數 | <滿量程的0.05%./°C |
張力溫度系數 | <0.08%的讀數./℃ | 入口壓力系數 | <0.02% 的讀數/psi |
預熱時間 | <30 分鐘（達到穩態性能的 0.2% 以內） | 工作溫度 | 10-50°C |
儲存濕度 | 0到95%相對濕度，不冷凝 | 儲存溫度 | -20° 至 80°C (-4° 至 149° F) |
溫度顯示 | 0-100°C | 溫度精度 | ±2°C |
溫度分辨率 | 0.1°C | 顯示 | 4位數字表示數值，4位字符表示單位 |
壓力顯示 | 0-100 psia | 壓力讀數裝置 | Psia，kPa |
壓力精度 | 1% 滿刻度 | 壓力分辨率 | 0.1psia |
配合類型 | 兼容：Swagelok® 4 VCR®，1.125 英寸表面安裝（C密封，W密封），1.5 英寸 W密封 | 外部泄漏密封性 | <1 x 10-10 |
潮濕材料 | 316L不銹鋼（等同于半導體質量的316不銹鋼SCQ），316不銹鋼 | 表面粗糙度 | 10微英寸平均粗糙度 |
重量 | <2.5 磅（1.1千克） | 合規 | CE |
電源要求 | +15到+24 VDC @ zui大200mA | 模擬I/O連接器 | 15針D型公頭，9針D型公頭 |
流量輸入輸出信號 | 0-5 伏直流電 | 設備網連接器 | 5針微型連接器（DeviceNet） |
RS485連接器 | 9針D型公頭 | 姿態不敏感性 | 滿量程的0.25%用于指示零位、量程和實際量程 |
功能
多氣體/多量程能力
多氣體/多量程功能，以及對準確度的嚴格性能規范，使用戶能夠盡量減少高流量MFM部件編號的庫存。多氣體/多量程功能（及其他自定義控制）是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的，該接口無需特殊軟件或硬件即可操作。只需一根標準以太網電纜和一個支持JAVA的HTML瀏覽器（廣泛可用）即可。典型高流量氣體的氣體關鍵參數已經存儲在設備上。配置設備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶進行常規設備健康檢查、繪制流量圖并存儲操作數據以供離線分析。
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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