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產(chǎn)品中心MKSMKS真空計(jì)971BMKS冷陰極真空計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
MKS冷陰極真空計(jì)（971B）提供測(cè)量范圍從 1x10-8 Torr到 5x10-3Torr，基于冷陰極反向磁控管傳感器技術(shù)。971B是一種用于基壓測(cè)量和控制的經(jīng)濟(jì)有效的解決方案。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | MKS/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS冷陰極真空計(jì)（971B）
971B UniMag™ 真空傳感器提供測(cè)量范圍從 1x10-8 Torr到 5x10-3Torr，基于冷陰極反向磁控管傳感器技術(shù)。971B是一種用于基壓測(cè)量和控制的經(jīng)濟(jì)有效的解決方案。除了其小尺寸、寬范圍和低成本之外，971 UniMag™ 冷陰極反向磁控管傳感器真空計(jì)可以通過(guò)數(shù)字通信操作，也可以作為自主模擬單元操作。970B 系列傳感器具有標(biāo)準(zhǔn)的 15 針 HD Sub-D 連接器。
l絕dui測(cè)量范圍從 1x10-8 到 0.005 Torr
l冷陰極陽(yáng)極模塊設(shè)計(jì)是可維護(hù)的，以減少停機(jī)時(shí)間。
l操作簡(jiǎn)便，可通過(guò)模擬輸出、RS232或RS485進(jìn)行控制
l可選的集成觸摸屏顯示用于當(dāng)?shù)貕毫χ甘?/span>
l三個(gè)用戶可配置的繼電器用于過(guò)程控制
l緊湊型設(shè)計(jì)提供了緊湊型換能器解決方案
MKS冷陰極真空計(jì)（971B）
技術(shù)參數(shù)
絕dui測(cè)量范圍 | 1 x 10-8 Torr到5 x 10-3 Torr | 數(shù)字通信 | RS485 或 RS232 |
類型 | 真空傳感器 | 傳感器 | 冷陰極 |
顯示 | 觸摸屏（可選） | 密封材料 | 氟橡膠 |
附件 | 標(biāo)準(zhǔn)或IP56 | 電氣連接器 | 15針，高密度，D-sub 公頭 |
繼電器 | 0 或 3 | 安裝方向 | 任何 |
設(shè)定點(diǎn)范圍 | 1 x 10-8 Torr到5 x 10-3 Torr | 校準(zhǔn)氣體 | 氮 |
工作溫度 | 0-40°C (32-104°F) | 最gao烘烤溫度 | 85°C (185°F) |
數(shù)字控制 | 壓力單位，波特率，地址，工廠默認(rèn)，用戶標(biāo)簽，RS485測(cè)試，氣體修正；設(shè)定點(diǎn)功能：值，滯后，方向，高壓?jiǎn)⒂茫Ｗo(hù)，控制設(shè)定點(diǎn)，氣體類型 | 數(shù)字狀態(tài) | 壓力讀數(shù)和單位，設(shè)定點(diǎn)，傳感器溫度，用戶標(biāo)簽，型號(hào)，設(shè)備類型，序列號(hào)，固件和硬件版本 |
模擬輸出 | 0.5 VDC per decade | 繼電器觸點(diǎn)額定值 | 1 A @ 30VAC/DC，電阻性 |
電源要求 | 9-30 Vdc，2 瓦 | 準(zhǔn)確性 | 5 x 10-8 Torr至10-3 ± 30% 的讀數(shù) |
重復(fù)性 | 5 x 10-8 Torr至10-3 ± 30%的讀數(shù) | 超壓限制 | 1500Torr |
內(nèi)部容積 | 21 cc | 暴露材料 |
|
電子外殼和法蘭 | 304不銹鋼 | 重量 | 12.7盎司（360克） |
合規(guī) | CE |
功能
數(shù)字通信
970B系列真空傳感器具有RS232、RS485和EtherCAT（僅972B）數(shù)字通信接口，用于設(shè)置傳感器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。數(shù)字接口可用于控制壓力單元、波特率、地址、工廠默認(rèn)設(shè)置、用戶標(biāo)簽、RS485測(cè)試、氣體校正；設(shè)定點(diǎn)功能：值、滯后、方向、HV啟用、保護(hù)、控制設(shè)定點(diǎn)和氣體類型。
0.5 VDC per decade模擬輸出
所有970B系列傳感器都有0.5 VDC per decade的模擬壓力輸出，可以與外部模擬設(shè)備連接以進(jìn)行壓力讀取或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過(guò)數(shù)字用戶界面進(jìn)行選擇。它可以模擬多種其他真空傳感器的模擬電壓輸出。模擬功能可以在OEM應(yīng)用中升級(jí)和替換其他供應(yīng)商的儀表而無(wú)需更改系統(tǒng)軟件。
可選集成觸摸屏顯示
可選的集成觸摸屏顯示器可以由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并且可以訪問(wèn)設(shè)定點(diǎn)參數(shù)以及氣體類型。該顯示器還顯示可用設(shè)定點(diǎn)繼電器的狀態(tài)。在高對(duì)比度顯示屏上，可以從5米外清楚地看到單個(gè)傳感器的壓力讀數(shù)或組合讀數(shù)。
過(guò)程控制繼電器
970B 系列具有最多三個(gè)機(jī)械SPST繼電器，可用于過(guò)程控制，例如聯(lián)鎖閥或泵。繼電器觸點(diǎn)的額定值為30 VAC或VDC，電阻性負(fù)載為1安培。
傳感器和轉(zhuǎn)換器的測(cè)量范圍。從上到下：971B、972B 和 974B
970B系列傳感器是為在大氣壓到10-8托耳壓力范圍內(nèi)運(yùn)行的真空用戶提供緊湊且低成本的測(cè)量解決方案。970B系列傳感器的小尺寸使其成為系統(tǒng)集成商的理想選擇，可以減少占用空間并實(shí)現(xiàn)微型化。
應(yīng)用包括：
l分析設(shè)備（質(zhì)譜儀控制）
l掃描電子顯微鏡
l涂層系統(tǒng)
l半導(dǎo)體裝載鎖壓力控制
l通用真空基壓測(cè)量
杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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