INFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器（HCD）

核心原理與特點(diǎn)

l 檢測(cè)原理：采用 ** 紫外光電離（UV PID，10/10.6 eV 輝光放電）** 技術(shù)，寬帶非選擇性檢測(cè)，可同時(shí)響應(yīng)絕大多數(shù)烴類(lèi)、硅氧烷（硅油），無(wú)需復(fù)雜預(yù)濃縮；無(wú)泵設(shè)計(jì)，維護(hù)量極低，適配惡劣工藝環(huán)境。

l 實(shí)時(shí)監(jiān)控：數(shù)據(jù)響應(yīng)迅速，支持 4-20 mA、0-10 V 模擬信號(hào)與 Modbus TCP 數(shù)字通訊，可無(wú)縫接入 INFICON FabGuard® 制程監(jiān)控軟件，實(shí)現(xiàn)趨勢(shì)分析、報(bào)警聯(lián)鎖。

l 安裝與體積：標(biāo)準(zhǔn) KF25（FK25）法蘭安裝，快速部署，占用空間小；工作壓力覆蓋 1 Torr～1 atm，工作溫度 -25℃～180℃，高靈敏度（高發(fā)射模式達(dá)2E-5 A/Torr），檢出限可達(dá)ppb級(jí)（隨工作壓力變化）。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

l 半導(dǎo)體/顯示：光刻膠蒸氣、真空泵油反擴(kuò)散、腔室污染預(yù)警；

l 光伏：CVD 制程尾氣、腔體泄漏檢測(cè)；

l 制藥：冷凍干燥（凍干）設(shè)備的油蒸氣污染控制；

l 真空鍍膜：工藝氣氛中殘留有機(jī)物監(jiān)測(cè)。

優(yōu)勢(shì)

l 實(shí)時(shí)監(jiān)控

l 定制化傳感器操作控制與數(shù)據(jù)分析

l 通過(guò)數(shù)據(jù)采集實(shí)現(xiàn)無(wú)縫工具集成與可靠攔截

l 快速簡(jiǎn)便的傳感器安裝，最小化工具占用空間

l 低總擁有成本，高投資回報(bào)率

INFICON英福康烴類(lèi)檢測(cè)器（HCD）

技術(shù)參數(shù)

杭州域勢(shì)科技有限公司專(zhuān)注于為工業(yè)及科研客戶(hù)提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷(xiāo)美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶(hù)的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶(hù)制造工藝、推動(dòng)客戶(hù)科研及創(chuàng)新進(jìn)度。