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  • PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥
    PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥

    PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥(V20系列)配備了VATLOCK技術,該技術是專門為提供可靠的密封而開發的,不會產生任何摩擦,從而避免了顆粒的產生。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V78系列)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥(V73系列)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥(V72系列)適用于半導體制造(SEMI)生產系統中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學氣相沉積等腐蝕性工藝。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列L型四開口)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥(V70系列雙開口)用于SEMI生產系統中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或CVD。

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥(V70系列)適用于腐蝕性工藝,如蝕刻或化學氣相沉積(CVD),其技術采用單軸氣動執行器驅動的L型運動。在L型運動中,隔板垂直移動到關閉位置——無需與閥體接觸——然...

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  • PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥
    PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥

    PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥(V77系列)L-Motion密封與傳輸閥不同,只有一個真空室用于裝載或處理。因此,門的另一側始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應用量身定制的...

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  • PRECESS  L-Motion 移位傳輸門閥
    PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥

    PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動執行器對閘門進行 L 型運動的技術。在 L 型運動中,閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...

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  • PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥
    PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥

    PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥(AB系列)提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器(0.1s),它是在PVD,CVD,Etch和Ald等各種過程中進行壓力控制的理想解決方案。板充當節流元件...

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  • Leybold萊寶電容薄膜真空計
    Leybold萊寶電容薄膜真空計

    Leybold萊寶電容薄膜真空計(CTR100)適用于腐蝕性工藝氣體。它能達到優秀水平的精度(0.2%),通過陶瓷電容式傳感器進行真空度測量。

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  • Leybold萊寶熱陰極真空計
    Leybold萊寶熱陰極真空計

    Leybold萊寶熱陰極真空計(ITR90)是一款經過優化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器(采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理)與皮拉尼傳感器相結合,可實現 5×10-1...

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  • Leybold萊寶線性壓力傳感器
    Leybold萊寶線性壓力傳感器

    Leybold萊寶線性壓力傳感器(DI200)是一款性能優異的真空壓力測量儀器。它堅固耐用,防護等級為IP54,適用于惡劣環境。產品非常緊湊,只需要一個傳感器,采用電容式或壓電式傳感器。

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  • Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計
    Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計

    Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計(TTR101)的測量范圍從 5×10?? 到1500 mbar,能夠滿足從粗真空到高真空的測量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測...

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