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PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）適用于半導(dǎo)體制造（SEMI）生產(chǎn)系統(tǒng)中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學(xué)氣相沉積等腐蝕性工藝。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產(chǎn)系統(tǒng)中的負(fù)載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學(xué)氣相沉積（CVD），其技術(shù)采用單軸氣動執(zhí)行器驅(qū)動的L型運動。在L型運動中，隔板垂直移動到關(guān)閉位置——無需與閥體接觸——然后在最終運動中水平推至隔板座，密封件以固定力接觸隔板座，該力與連接的氣壓相關(guān)。這不僅避免了摩擦和由此產(chǎn)生的潛在顆粒生成，還最小化了密封件的磨損。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個真空室用于裝載或處理。因此，門的另一側(cè)始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應(yīng)用量身定制的。

PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件，并改變了閥門打開的電導(dǎo)。 AB-N的集成壓力控制器計算所需的板位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定的壓力。