Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器

l 腐蝕性氣體。 與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。

l 用途廣泛且準(zhǔn)確。 對于 128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物，實時控制流量或壓力，具有 NIST 可追溯的精度至 ±（讀數(shù)的 0.4% + 滿量程的 0.2%）。

l 快速，多變量。 通電后的毫秒響應(yīng)時間，以您選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時流量、壓力和溫度讀數(shù)。

l 易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過程中

設(shè)備規(guī)格和定制選項

快速規(guī)格

MCDS 系列性能

l 量程范圍：0.5 SCCM 至 5000 SLPM

l 控制范圍：滿量程的 1% – 100%

l 精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.8% + 滿量程的 0.2%）

l 可選的高精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.4% + 滿量程的 0.2%）

l 重復(fù)性：滿量程的±0.2%

l 響應(yīng)時間：最快 30 ms

l 預(yù)熱時間：<1 s

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器

MCDS 系列工作條件

l 兼容氣體：多達 130 種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)； 可使用 COMPOSER™ 定義的其他混合物

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：175 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

設(shè)備范圍和完整規(guī)格

設(shè)備的定制范圍從 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范圍為滿量程的 1% 到 100%。

設(shè)備特點

每個設(shè)備都包含

l 多參數(shù)測量：同時測量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

l 氣體可選性：從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體。

l Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件，定義多達 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。

l 可調(diào)節(jié)設(shè)定點斜率值以及設(shè)定點范圍限制：配置斜坡速率允許用戶快速或慢速控制變化過程，設(shè)定點范圍限制可以防止無意的設(shè)定點更改帶來的影響。

l 可調(diào)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無需重新校準(zhǔn)。

l 閥門開合：利用警報快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

標(biāo)配 | 免費

l 流量累加器和批次控制：每 1 毫秒?yún)R總一次質(zhì)量流量，以便隨著時間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來分配精確的體積。

購買時的要求 |另外費用

l 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉(zhuǎn)動旋鈕即可調(diào)整設(shè)定點。

設(shè)備自定義選項

構(gòu)建和性能選項

l 通訊協(xié)議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS

l 顯示器：背光單色或彩色； 集成或面板安裝

l 過程連接：NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, or VCO fittings

l 接液材質(zhì)：Viton, FFKM, EPDM, Silicone

l 校準(zhǔn)：高精度； 自定義校準(zhǔn)點

閥門選項和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門選項之一進行定制，以確保在您預(yù)期的過程條件下獲得更佳性能。

l MCD：用于 20 SLPM 及以下流量范圍的小型比例控制閥

l 帶PCA的MCD：高性能比例控制閥，用于某些具有較高壓力的應(yīng)用

l MCPD: 小比例控制閥(不適用于腐蝕性配置)

l MCRD：用于 50 SLPM 及以上流量的幾乎無摩擦的大型 Rolamite 比例閥

注意：某些氣體（包括 SO2 和 Cl2）需要帶有 PCA 名稱的 MCD。

定制 PID 閥門調(diào)節(jié)可確保在您的特定過程條件下發(fā)揮性能。

可選配件

配件|| 分開售賣

l 工藝端口配件和過濾器

l 電源

l 通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜

l BB3 和 BB9 多點集線盒