INFICON英福康光學氣體分析儀（Quantus® LP100+）

隨著技術進步將工藝推向極限，半導體制造過程監控變得越來越重要。即使是微量污染也會對結果產生重大影響，因此在關鍵制程環境中進行實時泄漏和端點檢測至關重要。INFICON Quantus® LP100+ 氣體分析儀可即時識別微小變化并做出反應，從而最da限度地減少晶片廢料并提高產量。

Quantus LP100+ 以自等離子體光學發射光譜 (SPOES) 技術為基礎，檢測限低至 ppm 以下，安裝位置靈活，可安裝在腔室或泵管線上。

Quantus LP100+ 采用獨特的傳感器設計，與傳統的 OES 產品相比具有無可比ni的優勢。該傳感器可在等離子池中產生局部等離子體，從而將基于 OES 的氣體分析儀的功能從等離子室安裝擴展到非等離子室和其他工具位置，如前線或排氣管路。Quantus LP100+ 的工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr，無需昂貴的泵系統，可與許多工藝兼容，同時只需最少的維護，擁有成本低。

Quantus LP100+ 使用標準 KF25 端口輕松連接到系統。它占地面積小，不會影響工藝工具內部和周圍的日常操作。

特點

l 工作范圍從 10 mTorr 到 1 Torr  

l 出色的檢測限低至 ppm 級 

l 使用標準 KF25 連接，安裝簡單 

l 10 Hz 快速采樣率 

l 維護少，長期可靠 

l 擁有成本低，無需泵或耗材 

l 方便現場更換等離子池 

l 占地面積小：（高 x 寬 x 長）87 x 150 x 241 毫米（3.4 x 5.9 x 9.5 英寸）

l 由經過現場培訓、經驗豐富的 INFICON 工程師提供支持

INFICON英福康光學氣體分析儀（Quantus® LP100+）

技術規格

尺寸圖

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。