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產品中心INFICON英福康Transpector® APXINFICON英福康多壓力傳感器
產品簡介
INFICON英福康多壓力傳感器（Transpector® APX）專為未來智能工廠打造，助您洞察、理解并掌控關鍵工藝流程。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 應用領域 | 能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
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INFICON英福康Transpector® APX 多壓力傳感器專為未來智能工廠打造，助您洞察、理解并掌控關鍵工藝流程。
詳細介紹：
INFICON英福康多壓力傳感器（Transpector® APX）
在先jin的半導體制造中，每一秒、每分子都至關重要。工藝化學的細微變化會直接影響薄膜質量、均勻性和良率。多數工廠至今仍難以實時監測這些變化，尤其在壓力波動和惡劣化學環境下。即時捕捉、分析并響應氣相數據的能力，如今不僅是工藝控制的必需，更是智能數據驅動制造的核心。
當今的先jin工藝——無論是原子層沉積（ALD）、化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）還是刻蝕——都要求具備實時可視性、可重復性和工藝控制能力。缺乏這些能力將導致制造商面臨：
l 刻蝕終點不可見及殘留物堆積，引發晶圓缺陷、良率損失和高昂返工成本
l 跨腔室工藝偏差，導致結果不一致，延長新設備組和工藝配方認證周期
l 工藝漂移與污染：源于泄漏、腔室環境惡化或受污染工藝氣體，導致停機時間增加與良率下降
l 傳感器與工廠分析系統間數據孤島：阻礙工程師實時關聯氣相信號與良率/設備健康狀況
Transpector APX多壓力監測系統專為未來智能工廠打造，助您洞察、理解并掌控關鍵工藝流程。
可衡量的成果
通過在關鍵時刻和關鍵位置為工程師提供所需的可視化數據，徹di改變工廠的核心流程。Transpector APX多壓力分析儀不僅是氣體分析儀，更是通往卓yue工藝的智能制造門戶。
l 通過在每個階段捕捉化學信號，最da限度減少廢品和計劃外設備停機時間。
l 借助跨設備一致的傳感器數據和校準，實現更快的工藝爬坡和配方轉移。
l 通過主動監測化學與壓力參數，有效抑制工藝漂移并降低維護成本。
l 提升全廠數據利用率，為分析系統、故障診斷系統及預測性維護平臺提供數據支持。
優勢
l 終ji工藝監測：每秒采集超過550個數據點，實時洞察沉積與刻蝕階段
l 耐強腐蝕化學環境：HexBlock™多入口系統搭載專有涂層，可監測腐蝕性及高顆粒濃度環境
l 空間高效布局：高性能抽氣系統使占地面積縮減30%，輕松適配緊湊型工廠布局
l 無縫設備匹配與分析：通過FabGuard®實現自動校準與工廠分析系統直接集成，確保腔室行為一致性及跨設備數據可靠性
l 智能工廠可擴展集成：支持多層級監測、診斷及數字孿生就緒功能，契合工業4.0與智能制造戰略
INFICON英福康多壓力傳感器（Transpector® APX）
技術規格
型號 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
總壓力范圍 | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) | 5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar) |
檢測限 | <10 ppb | <25 ppb | <50 ppb |
工藝壓力范圍 | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) | 1E-8 Torr to 1.2 atm (1.3E-8 mbar to 1.2 atm) |
靈敏度（低發射） | >4.0E-6A/Torr (>3E-6 A/mbar) | >2.0E-6A/Torr (>1.5E-6 A/mbar) | >1.0E-6A/Torr (>7.6E-7 A/mbar) |
靈敏度（高發射） | >2.0E-5A/Torr (>1.5E-5 A/mbar) | >1.0E-5A/Torr (>7.6E-6 A/mbar) | >5.0E-6A/Torr (>3.8E-6 A/mbar) |
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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